第366章 突破封锁的武器

曲卓看了对方的证件，拜托徐组长把一脸担心的乔小雨和小丫头送回去。然后跟着不苟言笑的家伙，上了站外的一辆bj212。

司机看着眼熟，好像是四机部小车班的，不过没打过交道。上车后曲卓冲对方点头打招呼，司机拘谨的回应后，瞄了眼副驾驶不苟言笑的家伙，默不作声的发动引擎。

曲卓愈发紧张了，为了掩饰内心的不安，做出一副困倦的模样，窝在后座闭眼休息。

心里琢磨着，欺上瞒下的事干的有点多，不会是哪儿露出什么马脚了吧？

虽然心里没底，但不算慌。

曲卓自问给内陆带来的好处是实实在在的。就算被发现了什么纰漏，也绝对算不上罪过。

比较麻烦的是，一些问题不好解释，甚至是压根就没法解释。

闭着眼把能想到的可能都琢磨了一遍，实在摸不着头脑，索性破罐子破摔，放空大脑小眯了一觉。

恍惚间感觉车减速了。睁开眼一看，不是对方证件上的部门，也不是某个神秘的地方。周围的景象怎么有点眼熟呢？

居然到了878厂！

212进了878的大门，绕过主楼停在厂区西北角的一栋红砖小楼外。

曲卓开门下车时，姜秘书从小楼里出来。乐呵的说：“原本首长的行程安排在昨天。得知你今天回来，特意做了调整。”

“什么事呀？”曲卓问。

“啊？”姜秘书纳闷了一下，意外的问：“你不知道？”

“我知道什么呀？”曲卓示意留在212里的不苟言笑：“我刚下火车，那货就让我跟他走。什么都没说。”

“嗨~”姜秘书顺着曲卓的视线看了一眼，有些哭笑不得的解释：“刚从部队上下来，还不太适应新的工作环境。”

“……”曲卓一阵无语。

问了一嘴才知道，不苟言笑的家伙姓罗，是安全部门新派到四机部的驻点安全员。

虽然平时在四机部上班，但证件上的单位还是所属部门。

明天有一场级别挺高的会，各地的与会人员今天陆续抵京，火车站安全检查比平时严格了不少。

之前估算时间z36快到了，黎部长考虑到小罗同志的证件进出站比较方便，就派他去接曲卓。

结果，那货全程耷拉着死人脸，害得某人白紧张了一通……

红专楼从外面看着，是栋两层小楼，实际上里面只有一层。穿过一间很小的风净室，随后一间更小的更衣室里换上防静电鞋，姜秘书带着曲卓进到一条带三面大观察窗的廊道。

廊道里站了十多个人，有黎部长和四机部几位领导，半导体研究所的黄所长和大王先生，还有878的徐厂长和张总工。

剩下的几位也都是熟脸，有清华精密仪器系的、光电所的，还有45所的人。

见曲卓进来，黎部长笑着说道：“嗯~我们的大功臣回来了。”

“嘿~”曲卓憨笑，连鞠躬带行礼的挨个问好，抽空瞄了眼观察窗里面……一台占地大约十五个平方，卧式分体布局的设备。

设备是全包裹设计，但通过有典型特征的操作台，曲卓分辨出应该是一台，不，应该说是一套光刻机。

不用猜，肯定是用micralign100的核心部件装配出来的。

事实上，这台被暂时命名为77-1的投影式光刻机，七月初就试车成功了。

经过半个多月的测试，三微米工艺良品率百分之十七点二，六微米工艺良品率百分之五十七点六，十微米良品率达到惊人的百分之八十七点八。

虽然不足百分之九十的良品率，在后世看来并不算高，但就眼下来说，已经可以跻身国际先进水平了。

“厉害呀~”曲卓听完张总工兴致勃勃的讲解，发出了由衷的感慨。

事实再次证明，起码现阶段，我们的设计能力是绝对没有问题的。

设计组并没有复刻曲卓提供的图纸，而是对micralign100的核心组件稍加修改和调整，重新设计了光刻机的整体结构。从原本的柜式一体设计，变成了现在的卧式分体布局。

从结果上看，加工效率比原本设计要略低一些，功耗也略大了一些。但良品率明显提高，耗材损耗也有所下降。综合性能绝对超越了micralign100。

而且，关键点不在于性能上超越了micralign100多少，而在于有这台设备在手，我们就有了突破封锁的“武器”。

上面的计划是，下个月对外公布这款达到世界一流水平的“自研”光刻机。

等十月份，同型号第二台设备在沪市五厂投入使用。十二月底至明年一月，第三台设备在871厂投入使用。

如此一来，外界就能得出判断，我们大约三到四个月，就能加工出一套光刻机使用的核心部件。