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第一三六章 光刻机的现状(下)

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“董事长,要是nin在我们之前,率先攻克157n激光器技术,率先研发成功65n制程工艺的光刻机,我们如何应对?”

t汤普森知道euv光刻机不是短时间内能研制成功的,也主张两条腿走路,ga研究院如今也在研发157n激光器,由于ga一直以研发euv为主,157n激光器的技术远不如nin和vg,投资10美元,要是能够收购vg,拿到vg独有的157n激光器需要配置的反折射镜头技术,不能反超nin,也能同nin并肩齐驱。

孙董事长不同意公司收购vg,汤普森也不理解。

euv&nbp;联盟规划投资2亿美元,集合200多位顶尖科学家,目的就是从理论上验证了euv光刻机的可行性?理论验证完成后,euv&nbp;联盟将宣布解散,将研制euv和euv光刻机的难题交给ga,据同行在一起估算,研发投资起码要花50亿美元!

汤普森领导euv&nbp;联盟的200多位科学家,研究了2年多,还没有验证清楚euv光刻机的可行性?

“汤普森院长的担忧也有道理,除了加强研发力量继续研究157n激光器技术外,艾德里安先生可以同papen先生接触一下,看对方是否愿意出售反折射镜头技术的专利?价格可以商量”

papen是vg的首席执行官。

孙健本来不想在董事会上谈论收购vg的事情,但汤普森的提问代表ga高层的疑惑,不得不正面回应。

当时因为be研究院光源研究所还没有研发成功193n浸没式光刻机技术,孙健不反对ga研究院两条腿走路,但be研究院光源研究所去年已经研发成功193n浸没式光刻机技术,ga再继续投入巨资研发157n激光器就是多此一举,但也不能打击众人的积极性。

“好的,董事长!”

艾德里安心里好奇,为什么孙董事长不同意收购vg?似乎对研发157n激光器技术不是特别支持,难道还有更好的方法?明白papen不会低价出售反折射镜头技术的专利。

“汤普森院长,euv&nbp;联盟一旦从理论上验证了euv光刻机的可行性后,要是ga继续研发euv光刻机,理论上大概需要多少投资”

孙健转移话题,也是告诉公司高层,ga账上的现金流不是多了,而是远远不够。

前世,euv&nbp;联盟的几百位顶尖科学家在一起联合研发了6年多,发表了几百篇科研论文,从理论上验证了euv光刻机是可行的,目的达到,解散了euv&nbp;联盟,接下来的实际问题都抛给了a,面对如此高深的技术,a是选择做还是不做?

a一家之力不可能完成研制成功euv光刻机这项宏伟工程,不得不拿出公司近三成的股权,向下游光刻机重要客户inte、台积电和三星电子融资了60多亿美元!

据说为了研发euv光刻机,a前前后后在将近20年时间内投入上百亿美元的研发费用。

ga和nin占据光刻机的高端市场,技术水平不分仲伯,但由于高端光刻机用户inte、ib、it、ad、hp同ga既是eateh会员,又是ga的股东,采用一致对外的策略,ga的高端光刻机是首选,ga如今占据全球高端市场份额的近7成,nin占3成多。

在技术水平相同的情况下,市场起决定因素。

根据光刻机技术和市场占有率,ga如今成为名副其实的全球老大,nin屈居第二。

nin想从ga的手里抢回inte、ib、it、ad、hp的高端光刻机订单,只能率先攻克193n波长的世界性难题,第一个研发成功65n制程工艺的光刻机才有可能。

在nin技术领先的情况下,inte、ib、it、ad、hp就会以公司的利益为重。

a的工程师琼斯带领20多人的研发部门经过3年多时间的研发,于1996年9月,研发成功全球第二款具有自主知识产权的光刻机双工作平台系统,但为时已晚,a和其他光刻机公司都购买了be的专利技术,自己生产光刻机双工作平台系统,be负责升级;除了ga,其他公司生产一台光刻机需要缴纳相当于每台光刻机售价1的专利使用费。

ga如今已经升级配套90n制程工艺的磁悬浮式双工作台系统技术,遥遥领先于a的技术,按照专利技术转让协定,be交给了nin、a、ann和vg。

全球光刻机用户已经习惯使用be磁悬浮式双工作台系统技术,a在中高端光刻机上还是使用be的,在低端光刻机上使用自研的。

魏建国等be的高层们都敬佩孙董事长的远见卓识,1999年度,公司光靠这项全球领先的公司发明专利,收取的专利技术转让费就达到公司净利润的165,这些年赚得盆满钵满

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